技术编号：4364060
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。基板搬运装置、基板搬运方法 以及基板处理系统技术领城本发明有关用于液晶显示(LCD)板的玻璃基板等基板搬运的基 板搬运装置、基板搬运方法以及利用这种基板搬运的基板处理系统。背景技术现在，在一般的半导体基板及LCD玻璃基板的处理系统中，相 对搬运系并列设置了涂布和显像处理装置及蚀刻装置等多个处理装 置。这种LCD玻璃基板处理系统中的搬运系中，有一种具有为了把 基板搬入和搬出真空系处理装置内，而在真空下(或者减压下)搬运 基板的功能。这种搬运装置，在真空腔内使...
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