技术编号：4365086
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种物品保管设备以及利用这种物品保管设备的物品保管方法，该物品保管设备具备收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，向收纳在上述收纳部中的上述运送容器的内部供给惰性气体的惰性气体供给部，以及控制上述运送装置的动作和上述惰性气体供给部的流量调节装置的动作的控制装置。背景技术在上述这种物品保管设备中，为了防止运送容器内的基板的污损而具备有向收纳在收纳部中的运送容器内供给惰性气体的洁净功能。作为具体例子，例如具...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。