机器人的制作方法技术资料下载

技术编号:4365309

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在此公开的实施方式涉及一种机器人。背景技术通常,所谓的水平多关节机器人公知为用于传送基板(例如半导体晶片等)的机器人。在水平多关节机器人中,将用作末端执行器的手安装在可摆动臂的末端部,以便相对于所述臂水平旋转。所述手能保持基板(例如,参见日本专利申请公报N0.2011-224743)。在这种类型的机器人中,常将用于驱动手的手驱动机构布置在所述臂的壳体内。将用于探测基板存在与否的传感器安装在所述手中。有时将电缆布置在所述臂的壳体内。然而,在上述传统构造中,当...
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