技术编号：4376342
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及掩膜版相关，特别是涉及一种用于存放掩膜版的存放盒。背景技术在薄膜场效应管液晶显示技术中，光刻工艺是以光刻胶为材料在玻璃基板表面形成具有薄膜场效应管结构的图形，这个图形的作用就是保护其下面的薄膜，使其在下一道刻蚀工序中不被刻蚀掉，从而最终在薄膜上形成我们所需要的图形。图形的图案取决于掩膜版，掩膜版的图形直接决定一个批次产品的图形，所以对掩膜版的保护必须非常小心，以免造成批次产品不良，导致巨大经济损失。在目前薄膜场效应管光刻工艺中，所使用的掩膜版...
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