技术编号:438276
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及在液晶显示装置、发光型的显示装置和LSI等中使用的,说得更详细点,涉及采用用液体材料形成构成薄膜晶体管的薄膜的办法,制造薄膜晶体管的方法。背景技术 通常,薄膜晶体管用半导体膜、绝缘膜、导电膜等的薄膜构成。在用于液晶显示装置等中的薄膜晶体管外部还使用透明导电膜。若对薄膜从功能方面进行分类,则在绝缘膜中有栅极绝缘膜和层间绝缘膜,在导电膜中有栅极电极、源极·漏极电极、象素电极和作为布线使用的绝缘膜。在这些薄膜的形成中,以往,主要使用CVD(Chemical VaporDeposition,化学气相淀积)...
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