技术编号：4384871
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用于校正传送晶片盒的晶片仓储位置的校正夹具。 背景技术目前，晶片厂(Fabrication，FAB)之间的晶片传送需要通过晶片仓储(stocker) 作为桥梁，以将晶片盒(Pod)从一个晶片厂传到另一个晶片厂。此外，晶片区内部 (Intra-bay)与晶片区之间(Inter-bay)在传送晶片盒(Pod)时，也需要通过晶片仓储作为桥接。目前的半导体制造厂商所普通使用的运输用晶片盒(Pod)有4寸、8寸或12寸等多种。现有的自动输入输出的传...
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