技术编号：4385910
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型有关一种用于保存与运输光罩的光罩盒，具体而言是指一种密封效果佳的气密光罩盒构造。背景技术近年来电子产品不断朝向轻薄短小、高频、高效能等特性发展，而欲满足这个产品发展的方向，用于电子产品中的核心半导体元件或液晶显示元件的芯片就需微小化与具有高效能，而欲使芯片微小化与具高效能，则需使芯片上的集成电路线径微细化，因此现有的集成电路线径已由早期的0. 25微米发展至90 45纳米，而芯片上集成电路线径的微细化的成败主要在于半导体工艺中的黄光微影工艺技术，...
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