技术编号：4386204
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种阻挡膜形成用内部电极以及成膜装置，例如用于在树脂等的容器等中形成具有气障性的阻挡膜。背景技术 近年来，作为塑料容器之一，例如PET瓶，为了防止从外部的氧的透过，从内部(例如碳酸饮料)的二氧化碳的透过，尝试在其内表面涂布例如DLC(类金刚石)等的硬质的碳膜，提出各种成膜装置(专利文献1、2、3)。在此，作为在使用高频等离子体CVD的塑料容器中形成碳膜的装置，参照图9说明在容器的内部进行涂布的、作为基础发明的上述专利文献3所述的装置。图9所示的成...
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