技术编号：4390338
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及适用于液晶显示装置玻璃基板制造的传送式基板处理装置。背景技术 在液晶显示装置中使用的玻璃基板通过对作为原料的玻璃基板的表面重复实施腐蚀、剥离等化学处理来制造。该基板处理装置大致分为干式和湿式，湿式由分为分批式和片叶式。而且，片叶式还被细分为定位旋转式和基于滚轮传送式。在这些基板处理装置中，传送式的装置具有一边将基板沿水平方向传送一边向基板的表面供给处理液的基本构造，由于效率高，所以以前被用于腐蚀处理和剥离处理。在传送式基板处理装置中，基板依次通过...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。