技术编号：4390979
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及操作衬底传送容器的结构、能力和方法，其中该衬底传送容器适于在高度洁净的环境中储存或传送物体，如半导体晶片、光掩模或硬盘。背景技术 随着半导体器件的图形尺寸变得更精细，将来需要预先考虑甚至更高的洁净度。例如，应该预先考虑可能引起图形缺陷和布线短路的颗粒状污染物的目标控制尺寸小于0.1μm。此外，除了颗粒状污染物之外，必须减少气体污染物。通过吸收到半导体晶片上，各种碳氢化合物分子引起栅极氧化物膜的绝缘击穿电压下降或淀积膜中的厚度变化，并且碱性气体与化...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。