技术编号：4397046
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。带缓冲的传输系统背景技术在半导体制造设备中将诸如前开式晶片盒(front opening unifiedpods,FOUPs) 和标准机械界面(standard mechanical interface, SMIF)盒的容器传送到加工工具和装 载端口上是很费钱的。在加工工具之间传送FOUPs和SMIF盒的一种方法是自动化物料搬 运系统(automatedmaterial handling system, AMHS)。AMHS或传输系统在制造设备中移 动半导...
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