一种制备dlc薄膜的方法、由此制造的dlc膜容器及生产装置的制作方法技术资料下载

技术编号:4398561

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-本发明是关于一种低温制备类金刚石碳(DLC)薄膜的方法、由此制造的DLC容器及生产装置,尤其涉及一种覆有高附着性和轴向厚度均匀的DLC薄膜的塑料容器的制造方法及设备。背景技术类金刚石薄膜具有优异的性质,主要表现在类金刚石薄膜具有良好的力学性质,硬度高,耐磨性好且摩擦系数低,良好的扩散阻挡层性质,耐腐蚀性好,导热性好及化学稳定性好等。因此类金刚石薄膜可应用于多种领域,被广泛应用于食品、化工及生物医用领域,塑料包装容器由于自身低的气体阻隔性能,限制了使用。本...
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