技术编号：4414271
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及脱模性好的纳米压印用树脂制模具。更详细地，本发明涉及脱模性好，易于制造，特别适合纳米压印的树脂制模具。背景技术纳米压印技术是指将形成有凹凸图案的模具按压到基板上的液态树脂等上，将模具的图案转印到树脂上。作为凹凸图案，存在从IOnm水平的纳米级图案到ΙΟΟμπι左右的图案，用于半导体材料、光学材料、存储介质、微电机、生物、环境等各种领域。作为纳米压印的种类，可例举热纳米压印和光纳米压印等，所述热纳米压印是使表面形成有规定形状的模具压接到在玻璃化温度...
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