偏振光照射装置的制造方法技术资料下载

技术编号:44280

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专利摘要本实用新型提供一种偏振光照射装置。实施方式的偏振光照射装置包括照射部,沿第1方向延伸,且具有照射出波长处于紫外线波长区域内的光的光源;滤波器部,具有使规定波长的光透射的滤波器,且设置在所述照射部的下方;以及偏振部,具有第1基台、第1偏振元件及第1移动部,且设置在所述滤波器部的下方,所述第1偏振元件设置于所述第1基台且与所述滤波器相对,所述第1移动部使所述第1基台朝所述第1方向移动。所述第1移动部维持所述第1基台在与所述第1方向正交的第2方向、及在与所述第1方向及所述第2方向正交的第3方向上的位置。所述偏振光...
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