技术编号：4431449
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明通常涉及一种过滤器，尤其是涉及一种低轮廓的表面安装 过滤器。背景技术很多制造工艺需要较高纯度的气体在可调节的流速和压力下传 输。例如在半导体的制造过程中，必须仔细调节气体的纯度和流速， 以防在晶片上产生缺陷。晶片由于缺陷而产生的损失既昂贵又会浪费 时间。在半导体制造过程中，气体经由"气棒(gas stick)"被提供到处 理腔。气棒包括大量诸如过滤器、阀、质量流量控制器、压力传感器 等部件或者其他净化气体、调节气流或监视气体或气流特性的部件。 在传统...
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