刻印夹具及刻印装置的制作方法技术资料下载

技术编号:4432720

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本发明是夹持热塑性薄板的刻印夹具及刻印装置,并涉及在通过加热加压 从而在热塑性薄板上转印细微图案的热式刻印中所使用的刻印夹具及刻印装 置。背景技术近年来,由普林斯顿大学的Stephen Y. Chou教授等,作为以低廉的方法 转印高纵横尺寸比的《效小图案的方法发表了很多毫微刻印方式(大乂 4》7°卩 7卜)的报告。毫微刻印主要可分为对图案转印使用紫外线硬化树脂的光毫微 刻印方式和通过对热塑性物质施加热和压力从而进行图案转印的热毫微刻印 方式。尤其是后者的方...
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