技术编号：4440055
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。 背景技术作为用于形成微细三维结构的方法，具有不被常规的加工和光刻法的极限限制的分辨率的纳米压印方法受到关注。例如，USP 5，772，905公开了以下的纳米压印方法。如下所述，首先，制备基板和模具(mold)，其中在所述基板的表面上形成诸如聚甲基丙烯酸甲酯(polymethyl methacrylate, PMMA)等的热塑性树脂的薄膜，在所述模具的上面形成微细凹陷/凸起图案。接着，将所述模具按压在通过将基板加热到玻璃转变温度(glass t...
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