技术编号：4440171
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及由聚合体和纳米材料制成的膜。更具体地，本发明涉及在膜中的孔的形成。进ー步更具体地，本发明涉及由因为膜中的孔而具有更大的灵敏度的膜制成的压カ传感器。背景技术有多种类型的膜传感器。这些膜传感器被普遍地用于测量加速度、力或压カ的装置中。然而，普遍可用的膜传感器典型地具有固有的问题，诸如位于下面的基板的热预算限制、在弾性基板上的传感器的机械完整性、膜基板的表面粗糙、信号通路、金属对聚酰亚胺基板的附接、在传感器之间的串扰、电源要求、高成本和不可接受的制造要...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。