技术编号：4450102
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的目的在于提供一种面精度优良、小型、能够轻量化的衍射光栅、及其制造方法。本发明的衍射光栅的特征在于具备厚度为0.5mm～8mm的玻璃基板(20)、形成在玻璃基板(20)的一个面上的具有凹凸图案的由树脂构成的细微构造体(10)、形成在玻璃基板(20)的另一个面上的平坦的树脂层(30)。在玻璃基板(20)的面精度大于λ/2的情况下，由于树脂层(30)的平坦性，细微构造体(10)也不受到玻璃基板(20)的面精度的影响，能够制作面精度优良的衍射光栅的复制品。...
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