压模、压印方法及信息记录媒体制造方法技术资料下载

技术编号:4466426

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本发明涉及在制造信息记录媒体时使用的压模(stamper)、在形成在基体材料表面的树脂层上按压压模复印其凹凸形状的压印方法、以及利用在树脂层上复印的凹凸图案制造信息记录媒体的信息记录媒体制造方法。背景技术 在制造信息记录媒体的工序中,作为在形成在基体材料表面的抗蚀剂层(树脂层)上形成微细的凹凸图案(抗蚀剂图案)的方法,以往已知有光刻法。在这种光刻法中,形成在基体材料上的抗蚀剂层经过照射光线形成曝光图案,而后对抗蚀剂层进行显像处理,以此在基体材料上形成凹凸图...
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