技术编号：4468148
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是一种附有脱模层的模具的清洗方法，其中，所述附有脱模层的模具中，在用于通过压印将预定的图案转移至被转印物上的模具(30)上设置有脱模层(31)，脱模层(31)由氟化合物构成，并且该清洗方法具备紫外线照射处理工序，对附有脱模层的模具的脱模层(31)照射紫外线；和清洗处理工序，对因所述紫外线照射处理工序而发生化学性改性的脱模层进行清洗从而将其除去。其中，在紫外线照射处理工序中，紫外线光源的中心波长设为150nm～200nm时，紫外线的累积照射能量为500...
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