技术编号:4468914
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开一种用于通过可流动的基材制造部件的工具(100),其中工具(100)包括处理腔(102),可流动的基材被引入所述处理腔中用于制造部件;声学传感器(104),所述声学传感器构造成用于在制造过程中感测源自工具(100)、特别地源自处理腔(102)并且指示可流动的基材和工具(100)、特别地处理腔(102)之间相互作用的声学信号,其中声学传感器(104)包括活动致动器(110)和控制单元(200),所述控制单元构造成用于基于感测到的声学信号控制和/或记...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。