技术编号:4509977
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有1到几厘米直径的微燃烧加热器。背景技术 为了生产半导体等,在加热包含在玻璃管中的物体的工艺中,玻璃管被几个小的加热器包围以形成合适的盘状加热器,且控制每个小的加热器的加热率以控制被加热物体的温度分布。如果此种小的加热器是燃烧型的(即燃烧加热器),通常它很难实现稳定的燃烧。因此,小的电加热器用于制造半导体。另一方面,被称为Swiss-roll的小的加热器是已知的,现说明如下图5A是表示一维的逆流燃烧加热交换器的结构图。在图中,参考数字1表示...
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