技术编号:4520643
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及到调节高温-汽相-过程的方法,特别是CVD,LPCVD(低压化学汽相沉积)或者CVI,借助于红外-光谱学求出的测量曲线为基础,这个曲线至少有对于调节过程有特征的与测量曲线背景有偏差的光谱区(最高峰)。一般来说化学的化合物具有高特性的红外光谱,其结构比可见光或者紫外光的光谱更细。因此当识别化学化合物时常常将红外光谱用作为定性分析的辅助手段,此时将被测量的包括有感兴趣化学化合物的光谱与所谓的参考光谱进行比较和通过形成商数/光谱除法又得到吸收光谱,吸收...
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