具有功能表面的微型热管阵列芯片的制备方法技术资料下载

技术编号:4533079

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本发明涉及一种,是一种通 过改变热管内液固界面的亲疏水分布特性来提高热管的换热性能的方法。属于 微电子技术散热领域。技术背景随着微电子工业的迅猛发展,各种相关产品正以前所未有的速度高度集成 化和微型化,由此引起的温度迅速升高也成为制约其高速发展的一个瓶颈。对 此,作为能够保证微电子产品稳定可靠工作的热控技术也越来越多地受到各方 面的关注。在各种冷却技术中,微型热管(MHP)因结构小巧和在小的温度梯 度内可以进行较大热量的传输,而成为一种非常有应用前景的新兴...
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