技术编号:4539496
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种旋风式合氧燃烧装置,特别是关于一种处理半导体制程废气 的入口头座,并涉及该入口头座内部的废气通道、点火腔室和导引废气用的斜孔。背景技术在半导体的生产制造过程中,会产生许多具有毒性、腐蚀性及易燃性的制程废气, 为了避免该废气污染环境而造成公害的可能性,必须先将该废气内的有害物质予以过滤去 除之后,才能将无害的废气排放至外界大气。且知,传统的半导体制程废气的处理方式,是将该制程废气注入废气处理槽内,先 接受废气处理槽内的高温火焰燃烧,而形成高...
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