技术编号：4562866
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于热处理的方法和应用该方法的热处理设备。特别地，本发明涉及通过已加热气体加热一衬底或在该衬底上的已形成物质的热处理设备，以及用于使用该设备的热处理的方法。该水平型或垂直型退火炉为一块全部处理许多衬底的批量型设备。例如，垂直型退火炉在由石英水平或平行形成的接受器上安装一衬底，并且通过一升降机抬高和压低来进行到反应管的放入和放出。在一钟罩型反应管的外周部分，提供一加热器以通过该加热器加热衬底。由于其构造，花费比较长的时间用于到达预定加热温度的上...
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