技术编号:4600279
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种处理装置,特别是涉及用于平板显示器用的玻璃基板、半导体基板、印刷电路板等处理对象基板的处理装置。背景技术通常,在清洁度高的空间内、即在无尘室内进行平板显示器(FPD)基板、半导体晶圆等的缺陷检查。通常,无尘室具有大致等间隔地配置在呈立方体的检测空间的顶部的多个风机过滤单元(Fan Filter Unit FFU)。从该FFU送出的清洁空气在检测空间内形成下降气流,由此使无尘室内保持成微粒等灰尘较少的清洁状态。此外,例如在下面所述的专利文献1中...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。