技术编号：4608746
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用于干燥硅粉的上喷式气体分布器。背景技术多晶硅氢化工艺中硅粉的水分含量直接影响生产的安全性，为保证硅粉中水分含量达到工艺指标要求，目前国内氢化工艺中的硅粉多采用直喷式分布器烘干方式，该分布器采用上行热氮气通过支管分布气孔对硅粉进行均勻加热烘干，同时上行气体可将水分带出系统，达到烘干的效果。目前的分布器由分布板、喷嘴等构成，喷嘴均勻的设置在分布板上，由于喷嘴的喷气孔是直喷形式，造成喷出的气体与硅粉混合热交换不够均勻，存在硅粉烘干加热时间长、...
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