技术编号:4612094
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种改良西门子法多晶硅生产过程中用于三氯氢硅合成工序原料硅粉干燥的硅粉干燥集成系统。背景技术20世纪50年代,联邦德国西门子公司研究开发出大规模生产多晶硅的技术,即通常所说的西门子工艺。多晶硅生产的西门子工艺,其原理就是在表面温度1100°C左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯含硅反应物,使反应生成的硅沉积在硅芯上。改良西门子方法在传统西门子方法的基础上,具备先进的节能低耗工艺,可有效回收利用生产过程中大量的SiC14 、 HC1、H2等副产物以...
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