技术编号:4612359
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种带自动拉温区的温度串级系统,具体地说,涉及一种扩散炉的带自动拉温区功能的温度串级系统。背景技术首先,在半导体、太阳能等行业的现有技术中,高温炉体的温度控制主要由两种方式热电偶和单片机或热电偶和温控仪表。对于前一种温度控制方式其缺点在于单片机容易损坏,其内部结构较复杂使得高温设备的温控系统一旦出现故障,故障原因查找和排除非常繁琐,且一般这种控温方式的控制系统硬件(单片机和板卡)都由设备生产厂家订制,这样就很难保证设备能够得到及时的维修且不容...
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