技术编号:4614615
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。炉内压力平衡控制系统[0001]本实用新型涉及压力平衡调节技术,特别是涉及一种炉内压力平衡控制系统。技术背景[0002]半导体或太阳能扩散炉设备中,传统的扩散炉生产工艺中采用非闭管方式,此种方式由于对炉内的压力没有约束和控制,不能达到相应的炉内压力平衡,所以传统设备在工艺水平上想要实现扩散工艺中炉内压力平衡的标准具有一定的难度。[0003]随着半导体工业的飞速发展,对扩散工艺均勻性及工艺扩展性的要求越来越高, 同时对于扩散设备的炉内压力控制提出了相应的全新...
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