技术编号:4624753
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及冷却系统,尤其涉及一种液晶制程中炉体的双路循环冷却系统。背景技术在现有液晶制程中的烘干、固化、退火等步骤都需要用到用于加热的炉体。参见图1,其为现有液晶制程中一种炉体的立体结构示意图。现有液晶制程中所使用的炉体10,因要保持炉体10内的洁净等级,炉体10内通常配有供排气系统,通过净化管11通入洁净空气,使炉体10内形成正压,并通过排气管12向外排气,气体流动方向以箭头表示。此外,炉体10的遮板侧13和后维修门侧14均可以打开以操作炉体10的内部。...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。