技术编号:4639703
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及温控过滤装置,具体的说,是一种空调箱。 背景技术空调在现代化生产中扮演着越来越重要的角色。随着科学技术的进步,制 造业对加工生产中的工艺环境也有了更高的要求,比如无尘工厂,无尘车间在 微电子制造领域的不可替代性,充分反映了工艺环境对生产质量的影响。在晶圓制造厂生产晶圆的过程中,需要对环境的温度、湿度、空气中的悬浮颗粒数、空气分子污染物(AMC)进行严格的控制,这就需要工业用中央空 调箱对晶圆制造厂的密闭环境进行温、湿度控制及空气调节和过滤。现...
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