技术编号:4643613
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种用于晶体生长炉冷却水量调节的控制装置,其特征在于,包括一个储水体、流量监测设备与流量调节设备;所述储水体内设储水腔体,所述储水体设一接通储水腔体的总进水口和多个都接通储水腔体的出水口,所述每一出水口都装设有流量监测设备和流量调节设备;通过对晶体生长炉中的氧化铝熔夜表面流速的观测,控制流量监测设备和流量调节设备,以达到对各个出水口的冷却水流量的精确调节。专利说明—种用于晶体生长炉冷却水量调节的控制装置[0001]本实用新型涉及一种水量调节控制装置,尤其涉...
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