技术编号:4673942
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般性地涉及薄膜形成装置以及用于薄膜形成的蒸发装置中使 用的坩埚。具体地,本发明涉及用于蒸发合金或金属的坩埚和蒸发装置以 及蒸发方法。更特别地,本发明涉及用于蒸发装置的坩埚以及用于制造有 机发光二极管的蒸发装置。背景技术蒸发装置可以用于基板上材料的薄膜涂层。例如,可以利用蒸发装置 来施加金属膜涂层(例如提供大面板显示器的电容器或柔性基板或薄片上 的保护层)。具体地,有机蒸发装置是有机发光二极管(OLED)的某些制造方法 所必需的设备。OLED是一种特...
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