技术编号:4680711
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉上料用货叉,特别是一种带有微调装置的 多晶硅铸锭炉上料用货叉。 背景技术由于多晶硅铸锭炉的特殊工艺性,多晶硅铸锭炉上料时要求坩埚石墨底托的每个边缘外侧超出多晶硅铸锭炉石墨底板的边缘距离需严格控制在A ± 0. lcm,由于目前的多晶硅铸锭炉上料用货叉缺乏可以定位、导向的微调装置, 所以操作工在使用现有的多晶硅铸锭炉上料用货叉上料时,需要依靠人工一边 测量固定在坩埚石墨底托的每个边缘外侧超出多晶硅铸锭炉石墨底板的边缘距 离, 一...
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