技术编号：4681053
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于多晶硅生产设备，特别涉及一种多温区 硅料提纯与铸锭真空炉。背景技术在多晶硅的生产和提纯的过程中，尤其是物理或冶金法(也包括 化学法)制备提纯多晶硅的过程中，需要通过真空熔炼去除非金属杂 质，再通过定向凝固去除金属和分凝系数小的非金属杂质。通常，这 两个步骤是在两个炉体内部完成的，即先用感应炉进行真空熔炼，冷 却后，再用电阻炉进行定向凝固。这是因为，感应炉的感应加热会产 生电磁搅拌作用，这种作用对于熔炼是有效的，因为它促使硅液翻动，加强真空脱气...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。