技术编号:4683811
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种无尘仓储料架空调系统,特别是应用于无尘室的仓储料架,以产生空调功能的空调系统。背景技术无尘室的仓储料架用以暂时储放需对微尘污染加以控制的半成品,由于这些半成品在储放于仓储料架后,需再经过其它制作过程才能成为成品,若在储放过程中受到微尘污染,势必对下一制作过程的成品率造成影响,因此必须对微尘污染加以控制。以下将从光电产业(主要为TFT\LCD产业)的无尘室及其仓储料架加以说明。请参阅图1A,其为应用于五代厂的无尘室1,其设有上层(Truss...
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