技术编号:4687070
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种应用在硅片电池生产线刻蚀岗位对硅片表面吹干的硅片吹 干系统。背景技术目前,在硅片电池生产的线刻蚀岗位一般使用RENA水平去磷硅玻璃清洗机,该机 器的吹干槽内的风刀是由两套共四把金属风刀构成,四把风刀配有电动机进行前后扰动, 四把风刀用两个流量计控制。由于在吹干时风刀带有前后的扰动,且四把风刀不可独立控制,且风刀吹风量大, 使硅片受力复杂,容易产生走歪、爬坡,是碎片最集中的地方。并且下辊轴上设置有用于分 隔相邻硅片的导向轮,在爬坡时易造成碎...
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