技术编号:4706295
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。炉体冷却结构及使用该炉体冷却结构的晶体生长炉[0001]本实用新型涉及晶体生长炉冷却,尤其涉及一种炉体冷却结构,同时还涉及使用该炉体冷却结构的晶体生长炉。背景技术[0002]目前市场上提供的晶体生长炉的炉体冷却结构为内嵌导流板结构,也就是在晶体生长炉的内外炉壁之间的夹层中在上下方向上间隔平行设置有若干层导流板,相邻两层导流板上开设有连通不同层流道的开口,使得从炉壁底部流入内、外炉壁之间夹层中的冷却用水经由各个流道从炉壁顶部开设的出水口溢出,但是由于在冷却用...
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