技术编号:4718286
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种烧结炉,更具体而言,涉及一种在其中烧结坯块(compact)的烧结炉。背景技术通常,用于诸如液晶显示器(IXD)、等离子显示器(PDP)或电致发光显示器(ELD)的平板显示器的电极材料或用于光伏电池的透明导电氧化物(TCO)薄膜由氧化铟锡(ITO)、氧化锡(SnO2)、氧化锌(ZnO)等制成。特别地,ITO薄膜被广泛用于平板显示装置的透明电极、用于光伏电池的电极和用于防止静电的导电薄膜,这是因为其具有优良的特性,例如,透明性、导电性、对基板的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。