技术编号:4719679
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型化工装置领域,主要应用于多晶硅制备主要工序之一三氯氢硅合成时的原料硅粉高温连续干燥,具体地说是一种流程短、能耗低且干燥效率高的硅粉干燥系统。背景技术当今世界石油、煤等资源的逐渐匮乏,导致能源日趋紧张,环境压力日趋增大,可再生能源的开发利用受到各国政府重视。随着光伏产业的迅猛发展和半导体产业的增长,多晶硅材料有着广阔的市场空间。当今世界多晶硅生产总量的70-80%采用改良西门子法,由三氯氢硅的氢还原反应获得多晶硅产品。其技术成熟、适合产业化生产,是...
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