具有运行气体隔板的连续推进炉的制作方法技术资料下载

技术编号:4730414

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相关申请的相互参照根据美国专利法第35条第119款(e)的规定,本申请要求于1999年6月17日受理的系列号为60/139,612的美国临时申请的优先权,其公开内容在此作为参考文献引入。背景技术连续式炉用于各种应用中,如电子元件的制造。这些炉通常具有一系列热或加热室,每个热或加热室中气氛的温度和组分是被控制的。产品被顺序推进以一预定速度通过各室,以获得所需要的热和气体分布。产品可以以各种方式推进通过连续式炉,例如在一种连续式炉中,产品放置在金属织网输送带上...
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