技术编号：4750655
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及适用于半导体制造工场、FPD(Flat Panel Display)制造工 场、精密机械工场、药品制造工场等的无尘室或者无菌室的洁净室(clean room) o背景技术在半导体工场或FPD制造工场中，随着设备的高集成化，需要将洁净 度或温湿度等环境条件控制到更高的水平。此外，由于近年来半导体或FPD 的价格竞争激烈，所以需要降低洁净室的建设成本即初期成本、以及洁净 室自身的运营成本。作为实现这样的洁净度高的洁净室的方式有如图29所示的全部下流 ...
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