技术编号:4751996
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及超声喷雾隧道炉及大面积二氧化锡透明导电膜的制备方法。该二氧化锡透明 导电膜用于太阳电池的透明电极。属于材料的镀覆类领域。背景技术中国专利申请号02150786. 4,公开了喷涂沉积大面积均匀透明导电膜扫描装置,将 衬底置于衬底托盘上,通过衬底托盘加热,沉积时让喷头进行扫描喷涂。中国专利 200520025374. 5公开了超声快速沉积法制备纳米氧化物透明导电膜的设备。其方法是将衬底 置于紫铜板加热炉上,通过加热炉和衬底的整体移动来实现对整个衬底的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。