技术编号：4756341
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种制取四氟化硅的高温回转煅烧炉，特别是通过高温煅烧使氟硅酸盐裂解制取四氟化硅的全密封的带内返料的制取四氟化硅的高温回转煅烧炉。背景技术用氟硅酸盐在高温下裂解制取四氟化硅是四氟化硅多种制取方法中的一种，该传统工艺为用耐火砖砌加热炉分段加热氟硅酸盐，使其裂解来制取四氟化硅。但是存在以下问题传统工艺中使用耐火砖堆砌的加热炉，加热方式采用燃料燃烧直接加热放置在钢板上的物料，由于加热炉的局限性，存在生产不连续、产能小、热利用率低、劳动强度大、温度不宜...
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