技术编号:4756350
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅片加工设备领域,具体为一种改良的硅片甩干机传动结构。(二) 背景技术硅片切割并清洗以后, 一般都将硅片放置于硅片甩干机上,对硅片进行快 速甩干处理。硅片甩干机由电机驱动轴承带动安装有待甩干硅片的旋转座来快 速甩干硅片,以往主轴外端安装的是一对远距离布置的圆锥辊子轴承,其缺点 在于其轴承游隙调整困难,游隙过小轴承温升后发热易卡死,游隙过大影响旋 转座在高速旋转过程中的平稳性,严重时会损坏硅片。实用新型内容针对上述问题,本实用新型提供了一种改良...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。