技术编号:4759356
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于一种电热加工工艺中与电热炉配套使用的推拉舟上的配件,具体是扩散炉的推拉舟上带热屏蔽罩的前限位装置。 背景技术在电热加工工艺中使用一种电热炉,比如,太阳能电池上使用的硅片加工中,使用 一种扩散炉,该扩散炉配套使用一种推拉舟,用来将硅片送入炉中和从炉中取出。在该推拉 舟上设有限位开关,用以控制推拉舟进入炉中的位置。目前使用推拉舟的限位开关没有热 屏蔽,用于带升降温的半导体晶片生产工艺。由于太阳能电池生产的高效率要求,工艺结束 后没有降温阶段,进出...
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