技术编号：4761401
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般涉及进料空气的低温精馏以生产氮和氧，更具体地，本发明涉及如电子工业所需要的超高纯产品。在对杂质非常敏感的制造工艺中，如生产半导体和其他的电子器件，需要超高纯氮，尤其是高压的。通过进料空气的低温精馏可有效地进行超高纯氮的生产。近来在所述制造工艺中，除了超高纯氮以外，还出现了使用超高纯氧的要求。超高纯氧可以使用生产超高纯氮的惯用低温精馏装置进行生产，但是这样的系统与供生产任何指定数量氮的常规超高纯氮的装置相比，降低了超高纯氮的回收从而导致能源消耗的增...
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